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沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请改善涂布膜厚均匀性的热板供排风装置专利,能够优化晶圆涂布工艺时涂布膜厚的不均匀性
佛晶金属取得树脂金属复合修边轮专利,具有辅助散热结构
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